دانلود مقاله سیستم های میکرو الکترو مکانیک

چکیده

با رشد روزافزون فناوری های ساخت ابزار و سیستمها در مقیاس نانو و میکرو توجه محققان به سمت طراحی و ساخت  حسگرها و عملگرهایی برای کنترل و پردازش رفتار این سیستمها در مقیاسهای کوچک جلب شده است.

سیستم های میکرو الکترو مکانیکی حاصل تلاش و تحقیق محققان در حوزه های مهندسی مکانیک برق شیمی و  متالورژی در مسیر ساخت میکروحسگرها و میکرو عملگرهاست.

این سیستم ها – که آنها را به اختصار ممز مینامند  تحولی شگرف در زمینه کنترل ابزار و سیستمهای مکانیکی و الکتریکی و همچنین ارتباط بین این ابزار و مدارهای  مجتمع را رقم زده اند این سیستم ها با توجه به ساختار و عملکرد آنها سیستمهایی با فیزیک چندگانه به شمار  میروند جامع بودن و پیچیدگیهای موجود به خاطر ترکیب چند زمینه مختلف فیزیکی در این ابزارها تحلیل و  بررسی آنها را دشوار کرده و امکان تحلیل و طراحی یک نمونه کامل با بررسی تمام جنبه های آن را غیر ممکن ساخته  است.

نیروهای الکترومغناطیسی به عنوان نیروی اعمالی وجود نیروی میرایی ویسکوز و قوانین حاکم بر فشار یک  سیال نیوتونی و غیر نیوتونی در فضای موجود بین صفحه متحرک و زمینه وجود نیروهای الاستیک بازگرداننده  ارتعاش و جابه جایی تیر و همچنین تأثیر نیروهای بین مولکولی در حرکت این ابزارها سبب ترکیب و کوپل شدن  چندین زمینه انرژی در این سیستم ها خواهد شد.

با توجه به ماهیت فیزیکی این ابزارها جنبه های تحقیقی  بی شماری در زمینه طراحی بهینه سازی و افزایش دقت این سیستمها در برابر محققان وجود خواهد داشت.

در این  مقاله سعی شده است برخی از این جنبه ها به همراه گزارشی از کارهای انجام شده روی آنها مطرح شود.